湿度感测技术是广泛的应用，包括HVAC和制冷至关重要的; 医疗设备，如CPAP机和呼吸机; 用于食品和制药工业资产跟踪和存储装置; 工业控制系统; 气象仪器; 汽车气候控制和除雾; 和移动计算设备。尽管行业和需要它的应用程序的数量，相对湿度(RH)的测量是在环境传感越困难的技术挑战。

　　湿度感测仪器通常依靠温度，压力，质量，或在一个物质的机械或电气的变化测量时水分被吸收从该湿度然后可以的。机械湿度计(图1)传统上使用的人类或动物的毛发，因为头发的长度随湿度可测量的变化来测量湿度。如今，现代电子湿度传感器，通过测量在电电容或电阻，或在出现冷凝的温度湿度有关的变化进行操作。

　　相对湿度传感器，特别是那些依赖于吸湿的聚合物电介体材料的电容变化的测量，具有应用和使用的要求，包括：

　　1、板组装过程中保护该传感器，特别是在回流焊接的需要，并需要随后再水合所述传感器;

　　2、以防止损坏或污染传感器的产品生命周期中的需要;

　　3、上长时间暴露的传感器精度的潜在影响到温度和/或湿度的极端;

　　4、需要的温度校正和线性化应用到湿度读数。

　　一些这些要求从在电容型传感器中使用的聚酰亚胺膜的自然特性茎。其它的是传感器的开放式空腔封装的结果暴露在管芯和传感器薄膜到环境中。CMOS的制造技术使人们有可能建立一个******的先进的电容式湿度传感器提供的传感元件的创新，具有成本效益的封面。服用这些单芯片湿度传感器一探究竟之前，让我们回顾一些RH测量的基本原则。